Эволюция структурных, оптических и электротранспортных свойств пленок NiOx, отоженных в различных средах

Аннотация

В работе исследовано влияние среды отжига тонких пленок оксида никеля (NiO_x) на структурные, оптические и электротранспортные свойства. Пленки NiO_x были синтезированы золь-гель методом и отожжены при температуре 300 °С на воздухе, инертных газах азота (N₂), кислорода (О₂) и в вакууме. Значения толщины пленок определяли по поперечному сколу СЭМ-изображения. Толщина пленок зависит от среды отжига. Проведены измерения EDX-спектров пленок NiO_x. Анализ количественного соотношения O/Ni показал, что пленка, отожженная в атмосфере воздуха, близка к стехиометрическим параметрам NiO. Проведены измерения EDX-спектров пленок NiO_x. По спектрам КР наблюдается увеличение интенсивности пиков, свидетельствующее об увеличении плотности дефектов пленки вакансиями Ni в зависимости от среды отжига. Получены спектры поглощения и таук-графики пленок NiO_х.Оптическая плотность пленок зависит от условий отжига пленок. Анализ данных показывает, что ширина запрещенной зоны зависит от среды отжига и варьируется от Eg = 3,12 эВ до Eg = 3,45 эВ. Анализ спектров импеданса позволил оценить значения сопротивлений R₁ и R₂. Показано, что увеличение сопротивления R₁ связано с уменьшением плотности дефектов в пленке NiO_x, уменьшением рекомбинационного сопротивления R₂ и усилением рекомбинационных процессов на границе раздела.