[1]
Omarov, M., Prikhodko, O., Klimenov, V., Aitmukan, T., Alpysbayeva, B. и Nevmerzhitsky, I. 2012. Получение тонких пленок SIC методом PECVD.
Вестник. Серия Физическая (ВКФ)
. 42, 3 (сен. 2012), 37–41.