[1]
Nussupov, K., Beisenkhanov, N., Bakranova, D., Symaiyl, K. і Seitov, B. 2018. Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления. ҚазНУ Хабаршысы. Физика сериясы. 67, 4 (Жов 2018), 93–99.