Aubakirova, D., Yerdybaeva, N. и Pichugin, V. 2020. Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. Recent Contributions to Physics. 74, 3 (сен. 2020), 43–48. DOI:https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v74.i3.06.