(1)
Myrzabekova, M.; Guseinov, N.; Zaitsev, S.; Shabelnikova, Y.; Muratov, M.; Muradova, S.; Turarbaeva, T. Изучение параметров электронной литографии посредством АСМ.
ВКФ
2019
,
68
, 81-90.