Myrzabekova, M., Guseinov, N., Zaitsev, S., Shabelnikova, Y., Muratov, M., Muradova, S., & Turarbaeva, T. (2019). Изучение параметров электронной литографии посредством АСМ. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 68(1), 81–90. https://doi.org/10.26577/rcph-2019-1-1112