Beisenkhanov, N. (2008). СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 27(3), 99–105. извлечено от https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1495