Manakov, S. (2018). Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 40(1), 3–7. извлечено от https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670