Omarov, M., Prikhodko, O., Klimenov, V., Aitmukan, T., Alpysbayeva, B., & Nevmerzhitsky, I. (2012). Получение тонких пленок SIC методом PECVD. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 42(3), 37–41. извлечено от https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704