Nussupov, K., Beisenkhanov, N., Bakranova, D., Symaiyl, K., & Seitov, B. (2018). Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 67(4), 93–99. извлечено от https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868