Chuchvaga, N., Kislyakova, N., Aimaganbetov, K., Rakymetov, B., & Tokmoldin, N. (2018). Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 67(4), 108–114. извлечено от https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/929