Manakov, S. (2011). ИЗУЧЕНИЕ ОПТИЧЕСКИХ И СТРУКТУРНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК a-Si:H и a-SiC:H. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 35(4), 61–66. извлечено от https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1004