BEISENKHANOV, N. СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), [S. l.], v. 27, n. 3, p. 99–105, 2008. Disponível em: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1495. Acesso em: 22 дек. 2024.