MANAKOV, S. Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), [S. l.], v. 40, n. 1, p. 3–7, 2018. Disponível em: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670. Acesso em: 19 ноя. 2024.