MANAKOV, S. Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H. Recent Contributions to Physics, [S. l.], v. 40, n. 1, p. 3–7, 2018. Disponível em: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670. Acesso em: 6 дек. 2025.