OMAROV, M.; PRIKHODKO, O.; KLIMENOV, V.; AITMUKAN, T.; ALPYSBAYEVA, B.; NEVMERZHITSKY, I. Получение тонких пленок SIC методом PECVD. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), [S. l.], v. 42, n. 3, p. 37–41, 2012. Disponível em: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704. Acesso em: 19 ноя. 2024.