NUSSUPOV, K.; BEISENKHANOV, N.; BAKRANOVA, D.; SYMAIYL, K.; SEITOV, B. Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления. Вестник. Серия Физическая (ВКФ), [S. l.], v. 67, n. 4, p. 93–99, 2018. Disponível em: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868. Acesso em: 24 ноя. 2024.