Omarov, M.A., O.Yu. Prikhodko, V.V. Klimenov, T. Aitmukan, B.E. Alpysbayeva, и I.S. Nevmerzhitsky. 2012. «Получение тонких пленок SIC методом PECVD». Вестник. Серия Физическая (ВКФ) 42 (3):37-41. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704.