Omarov, M., Prikhodko, O., Klimenov, V., Aitmukan, T., Alpysbayeva, B. и Nevmerzhitsky, I. (2012) «Получение тонких пленок SIC методом PECVD», Вестник. Серия Физическая (ВКФ), 42(3), сс. 37–41. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704 (просмотрено: 19 ноябрь 2024).