[1]
D. Aubakirova, N. Yerdybaeva, и V. Pichugin, «Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления»,
ВКФ
, т. 74, вып. 3, сс. 43–48, сен. 2020.