M. Omarov, O. Prikhodko, V. Klimenov, T. Aitmukan, B. Alpysbayeva, и I. Nevmerzhitsky, «Получение тонких пленок SIC методом PECVD», ВКФ, т. 42, вып. 3, сс. 37–41, сен. 2012.