K. Nussupov, N. Beisenkhanov, D. Bakranova, K. Symaiyl, и B. Seitov, «Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления», ВКФ, т. 67, вып. 4, сс. 93–99, окт. 2018.