[1]
N. Chuchvaga, N. Kislyakova, K. Aimaganbetov, B. Rakymetov, и N. Tokmoldin, «Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин», ВКФ, т. 67, вып. 4, сс. 108–114, окт. 2018.