Manakov, S. «Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H». Вестник. Серия Физическая (ВКФ), т. 40, вып. 1, сентябрь 2018 г., сс. 3-7, https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670.