Omarov, M., O. Prikhodko, V. Klimenov, T. Aitmukan, B. Alpysbayeva, и I. Nevmerzhitsky. «Получение тонких пленок SIC методом PECVD». Вестник. Серия Физическая (ВКФ), т. 42, вып. 3, сентябрь 2012 г., сс. 37-41, https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704.