Beisenkhanov, N.B. «СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ». Вестник. Серия Физическая (ВКФ) 27, no. 3 (ноябрь 4, 2008): 99–105. просмотрено сентябрь 27, 2024. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1495.