Manakov, S.M. «Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H». Вестник. Серия Физическая (ВКФ) 40, no. 1 (сентябрь 5, 2018): 3–7. просмотрено ноябрь 19, 2024. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670.