Omarov, M.A., O.Yu. Prikhodko, V.V. Klimenov, T. Aitmukan, B.E. Alpysbayeva, и I.S. Nevmerzhitsky. «Получение тонких пленок SIC методом PECVD». Вестник. Серия Физическая (ВКФ) 42, no. 3 (сентябрь 22, 2012): 37–41. просмотрено ноябрь 19, 2024. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704.