Nussupov, K.Kh., N.B. Beisenkhanov, D.I. Bakranova, K. Symaiyl, и B.Zh. Seitov. «Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления». Вестник. Серия Физическая (ВКФ) 67, no. 4 (октябрь 30, 2018): 93–99. просмотрено ноябрь 21, 2024. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868.