Aubakirova D, Yerdybaeva N, Pichugin V. Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. ВКФ [Интернет]. 11 сентябрь 2020 г. [цитируется по 19 ноябрь 2024 г.];74(3):43-8. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1229