Yurov V. Толщина поверхностного слоя пористого кремния. ВКФ [Интернет]. 27 март 2020 г. [цитируется по 19 ноябрь 2024 г.];72(1):60-6. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1231