Beisenkhanov N. СТРУКТУРА ТОНКИХ СЛОЕВ SiC0,12, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. ВКФ [Интернет]. 4 ноябрь 2008 г. [цитируется по 27 сентябрь 2024 г.];27(3):99-105. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/1495