Manakov S. Изучение морфологии и структурных свойств пленок a-Si:H и a-SiC:H. ВКФ [Интернет]. 5 сентябрь 2018 г. [цитируется по 19 ноябрь 2024 г.];40(1):3-7. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/670