Omarov M, Prikhodko O, Klimenov V, Aitmukan T, Alpysbayeva B, Nevmerzhitsky I. Получение тонких пленок SIC методом PECVD. ВКФ [Интернет]. 22 сентябрь 2012 г. [цитируется по 19 ноябрь 2024 г.];42(3):37-41. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/704