Nussupov K, Beisenkhanov N, Bakranova D, Symaiyl K, Seitov B. Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления. ВКФ [Интернет]. 30 октябрь 2018 г. [цитируется по 21 ноябрь 2024 г.];67(4):93-9. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868