Nussupov K, Beisenkhanov N, Bakranova D, Symaiyl K, Seitov B. Структура пленок карбида кремния, синтезированных методом магнетронного распыления. Rec.Contr.Phys. [Интернет]. 30 октябрь 2018 г. [цитируется по 7 декабрь 2025 г.];67(4):93-9. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/868