Chuchvaga N, Kislyakova N, Aimaganbetov K, Rakymetov B, Tokmoldin N. Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин. ВКФ [Интернет]. 30 октябрь 2018 г. [цитируется по 26 сентябрь 2024 г.];67(4):108-14. доступно на: https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/929