Исследование распределения потока ионов в барьерном разряде методом Монте-Карло

Abstract

В данной работе исследованы угловое и энергетическое распределение ионов на поверхности мишени в барьерном разряде. Представлены результаты расчетов методом Монте-Карло транспортных характеристик ионов, пересекающих поверхность мишени. Основное внимание уделено угловому и энергетическому распределению ионов и отличию в распределениях средних по объему и средних по потоку на поверхность.