Синтез углеродных наностен методом химического осаждения из газовой фазы в плазме высокочастотного разряда

Ye. Yerlanuly; D.G. Batryshev; M. Hori

doi:10.26577/rcph-2019-1-1099

Авторлар

Ye. Yerlanuly Лаборатория инженерного профиля, КазНУ им. аль-Фараби, Казахстан, Алматы
D.G. Batryshev Лаборатория инженерного профиля, КазНУ им. аль-Фараби, Казахстан, Алматы
M. Hori Нагойский университет, Ногая, Япония

##doi.readerDisplayName##:

10.26577/rcph-2019-1-1099

Кілт сөздер:

көміртекті наноқабырға, плазмада химиялық будың тұндыру, жоғары жиілікті разряд, Раман спектрі

Аңдатпа

Жұмыс әртүрлі қуаттағы жоғары жиілікті сыйымдылықты разрядта газдық фазадан плазмохимиялық әдісімен көміртекті наноқыбырғаларды (КНҚ) синтездеуге және олардың қасиеттерін зерттеу тақырыбына арналған. Жүргізілген зерттеу нәтижесінде КНҚ синтезіннің оптималды қуат параметрі анықталды. Қуат шамасы бұл көрсеткіштен жоғары болған жағдайда КНҚ агломирацияланып нанокластерлер және көп қабатты графен түзеді. Алынған КНҚ морфологиясы және құрылымы Quanta 3D 200i (SEM, FEI company, USA) электроды сканерлеуші микроскопия және Рамандық Ntegra SPECTRA спектроскопиясымен көмегімен сараптама негізінде зерттелді. КНҚ қалыптасуында беттің аргон иондарының сәулеленуі нәтижесінде фазалық өсу мен көмірсутек радикалдарының адсорбциялануына алып келеді, ал иондық сәулеленудің шамадын тыс болуы (ЖЖ разрядтың қуатының артуы) шөгіндіру әсері нәтижесінде КНҚ өсуіне кедергі келтіреді. Аталған құбылыс қуат шамасынның өсуімен қалыптасқан агломерацияланған КНҚ пайда болуын түсіндіреді