Оптические и структурные свойства керамик AlN облученных ионами С2+

Аңдатпа

Проведено исследование влияния облучения ионами С²⁺ на изменение оптических и структурных свойств керамик на основе AlN. Выбор иона С²⁺  обусловлен возможностью моделирования образования дефектов в приповерхностных слоях, а также образованием карбидных фаз в структуре при облучении. Согласно данным XRD в структуре облученных образцов наблюдается образование примесной фазы характерной для Rhombohedral Al₄C₃, наличие которой обусловлено имплантацией ионов углерода в приповерхностные слои не более 150 нм. Снижение интенсивности TSL спектра для облученных образцов обусловлено возникновением дефектов, а также увеличением концентрации примесных атомов, которые приводят к замещению атомов Al и N в структуре. При дозе облучения 10¹⁵ ион/см², наблюдается резкое увеличение спектра поглощения и величины оптического поглощения.