Қатты оксидті отын элементтері электролиті үшін YSZ пленкасын тұндырудың физикалық әдістері

Аңдатпа

Қазіргі таңда қатты оксидті отын элементтері электролиті үшін жұқа әрі берік YSZ (иттриймен тұрақтандырылған цирконий оксиді) пленкасын тұндыру мақсатында тиімділігі мен сезімталдығы өте жоғары физикалық әдістер қолданылады. Шолу мақала әр түрлі мақала авторларының өз қолданған реактивті магнетронды және плазмалық бүрку, импульсті лазерлітұндыру сияқты перспективті физикалық әдістердің артықшылықтары мен кемшіліктерін талдауға арналған. Импульсті лазерлі тұндыру әдісінің басты артықшылықтарының бірі – ультражоғары жиілікті камера мен булану энергиясының бөлінуі негізінде тұндыру кезінде фондық газды және қоршаған орта қысымын таңдауға мүмкіндік беруі, алайда микробөлшектер мен нысанадағы бүркілетін заттың субстрат бетіне түсуі YSZ пленкасының беттік морфологиясын өзгертумен қатар пленканың деформацияға ұшырау нәтижесінде құрылымдық ауытқулар тудыруы мүмкін. Сол сияқты шолу мақалада қалған әдістердің де артықшылықтары мен кемшіліктері авторлардың жұмыстарын салыстыра отырып жан-жақты талқыланады. Әсіресе жоғарыда аталған әдістердің ішінен реактивті магнетронды бүрку әдісінің ерекшеліктеріне көп көңіл аударылады және аталған әдістің болашақта қолдануға өте тиімді, сезімталдығы жоғары экспрессивті әдіс екендігі көрсетіледі.