Мыс нанобөлшектерінің жоғары жиілікті сыйымдылықты разряд плазмасының жарық интенсивтілігіне әсері

Аңдатпа

Жұмыста жоғары жиілікті сыйымдылықты разряд плазмасының жарық беру интенсивтілігіне оның құрамындағы нанобөлшектердің әсер етуі туралы нәтижелер келтірілген. Нанобөлшектер плазмалық ортаға түскен мыс атомдарымен молекулаларының және нанокластерлердің өзара бірігуінен пайда болды, яғни плазма агрегациялық орта ретінде жұмыс істейді. Мыс атомдарымен молекулаларының плазмалық ортаға бағытталған ағынын алу, магнетрондық тозаңдандыру жүйесі арқылы жүзеге асты. Плазманың жарық беру қасиетіне тек оның құрамындағы нанобөлшектердің өлшемдерімен концентрациясы әсер етеді. Сондықтан, магнетронның катоды, мыстың орнына кез-келген материал қолдануға болады. Жоғары жиілікті плазмамен магнетрондық разряд ортақ вакуумдық ортада орналасқан және жұмыс газы ретінде тазалық деңгейі жоғары аргон қолданылды. Плазманың жарық интенсивтілігі оның толқын ұзындықтары 737 және 750 нм-ге сай келетін эмиссиялық спектрлік сызықтары арқылы бақыланды. Осылайша, плазмадағы нанобөлшектердің концентрациясы магнетрондық тозаңдандыру процесінің жүру уақытына тәуелді болатыны және оның уақыт өте қанығатындығы анықталды. Эксперимент нәтижелері көрсеткендей плазманың жарық интенсивтілігі магнетрондық тозаңдандыру процесі 7, 14, 20 және 40 секунд жүрген кезде, сәйкесінше салыстырмалы бірлікте 4451, 5280, 10725 және 13545 ретімен жоғарылайтындығы анықталды. Яғни, қарастырылып отырған уақыт аралығында плазманың жарық интенсивтілігі алғашқы мәнінен 3 есе өсті. Тозаңдандыру процесі 1 минуттан артық болса плазма интенсивтілігі әрі қарай елерліктей жоғарыламайды, яғни қанығып отыр. Бұл плазма көлемінің нанобөлшектермен мейілінше толатындығын көрсетеді. Эксперимент нәтижелері, тұтынатын энергия қуатын өзгерттпей, газдық разрядты электр шамдарының жарық интенсивтілігін арттыру үшін қолданысқа ие болуы әбден мүмкін.