Импульсное лазерное напыление электролитического слоя YSZ полученного горячим прессованием мишени

Аңдатпа

В статье приводятся описание методики горячего прессования мишеней циркония, стабилизированного иттрием для использования в импульсном лазерном напылении электролитического слоя твердооксидных топливных элементов. Горячим прессованием изготавливается мишень циркония, стабилизированного иттрием с процентным соотношением компонентов ZrO₂ и Y₂O₃ 92:8%. Приводятся аналитические исследования и результаты параметров полученной мишени, и осажденного на подложку кремния электролитического слоя (СЭМ, АСМ, EDX). Научная работа направлена на решение актуальнейшей проблемы по снижению рабочих температур твердооксидных топливных элементов с 850 – 1000 °С до 400 – 550 °С, что достижимо, как показывают результаты исследований, при уменьшении толщины пленки электролита нанесенного тонкопленочной технологией и ультратонком электролите, осажденный с целью уменьшения рабочей температуры, размера и веса топливного элемента. Исследование морфологии показало образование шероховатой поверхности. Элементный анализ осажденного слоя электролита YSZ выявил 8% содержание иттрия в структуре, а циркония в два раза меньше.