Электрические и оптические свойства диэлектрического копланарного поверхностного барьерного разряда
Кілт сөздер:
плазма атмосферного давления, диэлектрический барьерный разряд, электрические и оптические свойства, диэлектрический копланарный поверхностный барьерный разрядАңдатпа
В данной статье были изучены электрические и оптические свойства диэлектрического копланарного поверхностного барьерного разряда (ДКПБР). Были получены вольт-амперная характеристика и спектры излучения диэлектрического копланарного поверхностного барьерного разряда. Динамическая вольт-амперная характеристика была получена с использованием пояса Роговского, высоковольтного щупа и осциллографа с высокой разрешающей способностью. С целью дальнейшего исследования обработки различных материалов была измерена температура поверхности RPS400, на которой зажигалась плазма. Температура поверхности измерялась с помощью пирометра. Результаты исследований электрических свойств ДКПБР показали, что разряд носит емкостный характер, с наблюдаемыми пиками тока проводимости поверх тока смещения, которые возникают из-за наличия одиночных микроразрядных каналов. Результаты оптико-эмиссионной спектроскопии показали наличие в спектре излучения ДКПБР молекулярных полос азота, а именно второй положительной (N2 (С-В)) и первой отрицательной (N2 + (B-X)) систем, а также линии ОН и NО с низкой интенсивностью.
