А Разработка системы измерения в нанодиапазоне

N.E. Akhanova; S.A. Darznek; J.E. Zhelkobaev; M.T. Gabdullin; Y. Yerlanuly; D.G. Batryshev

Авторлар

N.E. Akhanova Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, Казахстан, г. Алматы
S.A. Darznek 3АО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума», Россия, г. Москва
J.E. Zhelkobaev АО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума», Россия, г. Москва
M.T. Gabdullin Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, АО «Казахстанско-Британский технический университет», Казахстан, г. Алматы
Y. Yerlanuly Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, АО «Казахстанско-Британский технический университет»,Казахстан, г. Алматы
D.G. Batryshev Национальная нанотехнологическая лаборатория открытого типа, Казахский национальный университет имени аль-Фараби, АО «Казахстанско-Британский технический университет», Казахстан, г. Алматы

Кілт сөздер:

лазер, сызықтық орын ауыстыру, нанодиапазон, интерферометр, фазалық жылжу бұрышы (ФЖБ)

Аңдатпа

Жұмыс нанодиапазонда сызықтық орын ауыстыруларды өлшеуге арналған, осындай жұмыстар талдауларының ерекшеліктері өлшеу тұтастығы мен өлшенетін физикалық өлшем тұрақтылығы және нәтижелер нақтылығы мен олардың Мемлекеттік эталонға байланысын қамтамасыз ету. Нанодиапазонда прецизионды өлшемдер тәсілі мен әдістеріне, сондай-ақ орым тәсілі мен әдістеріне сәйкес болуы және алынатын ақпараттың өңделуіне ұсынылу шарттары қарастырылған. Негізгі қателік көздеріне талдау жасалынды. Бұл зерттеулер нәтижелері [1] жұмыста келтірілген. Өлшеулер кешендерінің құрылу ерекшеліктері, сонымен қатар оптикадағы фазалық өлшеулерді калибрлеу сұрақтары қарастырылды. Қолданбалы сипатының сұрақтары: нанодиапазонда нақты объектілердің орын ауыстыруын өлшеу, олардың жылдамдығы мен үдеуін анықтау, сонымен қоса практикалық қолданылу аймағында құрастырылған әдістерді енгізу мәселелеріқарастырылды. Сандық гетеродинирлау құралы мен әдісін қолдану арқылы тәжірибелік және қолданбалы есептерді шешу кезінде алынған нәтижелер келтірілген. Құрастырылған «интерферометр-фазометр» жүйесі уақыттың нақты масштабында актюатор есебінде әртүрлі қондырғыларда пайдаланылатынкүрделі пъезокерамикалық құрылымын зерттеуге мүмкіндік береді.