КОМПЛЕКС ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО ЭЛЕМЕНТНОГО АНАЛИЗА ТВЕРДОТЕЛЬНЫХ МАТЕРИАЛОВ С НАНОМЕТРОВЫМ РАЗРЕШЕНИЕМ. ҚАТТЫ ДЕНЕЛІ МАТЕРИАЛДЫРДЫ КҮЙРЕТПЕЙ НАНОМЕТІРЛІК АЙЫРУ ҚАБІЛЕТІМЕН ҚАРАПАЙЫМ ТАЛДАЙТЫН ЖИЫНТЫҒЫ - Komarov, F. F.; Kamyshan, A. S.; Danilevich, V. V.; Boiko, E. B.; Kupchishin, A. I.; Togambayeva, A. K. (Хабаршы. Физика сериясы, 2009)
Разработан измерительный комплекс для элементного анализа материалов, позволяющий регистрировать спектры резерфордовского обратного рассеяния легких ионов с энергетическим разрешением 1,3 %, что соответствует минимальной толщине регистрируемого слоя 1–1,5 нм.Основным элементом комплекса является цилиндрический электростатический анализатор ионов с неоднородным полем. 1–1,5 нм ең аз тізімдеу қалыңдығына сəйкес келетін қатты денелі материалдырды 1,3% энергетикалық қабілетімен резерфорд қайта шашыранды жеңіл иондар спектірін тіркейтін элементтік талдайтын өлшеу жиынтығы жасап шығарылды. Комплекстін негізгі элементі бір текті емес өрісті жұмыр электростатиқалық ион анализаторы.