Myrzabekova, M. et al. 2019. АСМ арқылыэлектронды литографияның параметрлерін зерттеу. Хабаршы. Физика сериясы. 68, 1 (Mar. 2019), 81–90. DOI:https://doi.org/10.26577/rcph-2019-1-1112.