[1]
Aubakirova, D. et al. 2020. Исследование состава пленок оксидов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления. Хабаршы. Физика сериясы. 2020, 3 (Sep. 2020), 43–48. DOI:https://doi.org/10.26577/RCPh.2020.v74.i3.06.