Voinarovych, S. et al. 2021. Микроплазмалық тозаңдату параметрлерінің тозаңдалған Zr сымы мен қаптау кеуектерінің жоғалуына әсері. Хабаршы. Физика сериясы. 79, 4 (Dec. 2021), 82–96. DOI:https://doi.org/10.26577/RCPh.2021.v79.i4.10.