Chuchvaga N, Kislyakova N, Aimaganbetov K, Rakymetov B, Tokmoldin N. Исследование влияния влажной химической обработки на поверхность кремниевых монокристаллических пластин. Rec.Contr.Phys. 2018;2018(4):108-114. Accessed July 5, 2026. https://bph.kaznu.kz/index.php/zhuzhu/article/view/929