Жұмаділов Р, Елубаев Д, Оңайбергенов Ж, Утегенов А. Төмен қысымды RF-DBD реакторында алынған аргон және аргон-метан плазмасының спектрлік сипаттамалары. Rec.Contr.Phys. 2026;96(1):48-56. doi:10.26577/RCPh96120266