Ганиева К, Карим C, Абдувалов А. Магнетрондық шандату әдісімен алынған ZnO жұқа қабықшаларына қарқынды импульстік иондық сәуле әсерін зерттеу. Rec.Contr.Phys. 2026;98(3):29-39. doi:10.26577/